POSIFA真空計是基于POSIFA的第二代MEMS熱導率芯片設計而成。芯片由精微加工工藝制作而成，具有優(yōu)異的精確度和一致性。這顆芯片可以測量熱導，其上印刷有集成的測溫電路，具有良好的靈敏度和重復性。由于工作溫度很低，所以相比于燈絲原理的皮拉尼規(guī)，PVC6800 系列更能耐受污染物。PVC6800 系列的一個重要特點就是增加壓力傳感器，確保從 1.5 到 0.1 大氣壓具有高精度。